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ロボットによる半導体ウェハー製造用の金属ドライブテープ

8月 5, 2019 | ケーススタディ

シリコンウェハーと集積回路製造用オートメーションシステム制御付き自動ロボットアーム最近、 Belt Technologies のお得意様が一見シンプルに見えるプロジェクトについてご相談されました。 お客様は、既存のロボットのドライブテープを取り替える必要がありました。 このお客様は、高精度と繰り返し精度を必要とする半導体ウェハー製造用の先進設備の開発と製造に特化しています。 発注リードタイムが非常に短いため、間違いを犯す余地はありません。

金属ドライブテープは、ロボット設備とクリーンルーム用途に理想的です

小型の半導体機器の生産には、膨大な数の個別ステップを含むコアプロセス一式を繰り返す洗練された製造設備が必要です。 このお客様は、誘導体エッチング、 原子層エッチング、 蒸着、プラズマ開先切断、電着その他の高度なプロセスに対応する広範な機器を製造していました。

大型シリコンウェハーエッチング機械このプロジェクトでは、既存のロボット設備の金属ドライブテープを取り替える必要がありました。 Belt Technologiesのステンレススチールドライブテープ は、特に高精度と繰り返し精度が必要なロボット用途に理想的なチョイスです。 金属ドライブテープはバックラッシュがほとんどゼロのため、位置精度とロボットの動きを最適化し、機器の寿命を最大限延長します。 いかなる用途にも最適なパフォーマンスを実現するようカスタマイズできます。

この場合、 ドライブテープ は製造される繊細な電子機器の汚染を予防するために、殺菌された真空環境で効果的に動作する必要がありました。 ステンレススチールは耐久力に優れ、清潔で、高低温、真空、クリーンルーム環境など、極端な稼働条件の要求に対応します。 このお客様は、チップ製造設備のスムーズな稼働要件を満たすBelt Technologiesの金属ドライブテープを長年使用されていました。

新旧部品の急速な交換

弊社チームは、301HYステンレススチール製の交換用ドライブテープをお客様にお届けしました。 Belt Technologiesが短い納期でお届けした部品品質に満足されたお客様は、元の生産計画をそのまま実行されました。

ロボット用途のステンレススチールベルトとドライブテープについての詳しい情報は、 本日、Belt Technologiesにお問い合わせください。

金属製ベルトのデザインガイドと技術者向け資料

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