半導体ウエハ製造用のステンレススチールベルト

繰り返し精度を実現

スマートフォンからスマートホーム、スマートカーまで、日常生活で使用する電子機器にはマイクロチップが備わっています。これらの高度なデバイスを製造するには、洗練された製造設備、再現性がある複雑なプロセスが必要です。また、半導体ウエハ製造は高度に自動化されているため、ほとんどの操作はクリーンルームまたは真空環境で行われています。

集積回路の生産

高度なマイクロチップ生産は、集積回路とも呼ばれており、弊社のステンレススチールベルト、タイミングベルト、ドライブテープが持つような精密さ、繰り返し精度 が必要になります。弊社では、以下のような優れたプロセスコントロールと生産を実現できるお手伝いをしています。

• 原子層エッチング
• 誘導体エッチング
• ドーピング
• 電解メッキ
• イオン注入
• フォトリソグラフィパターニング
• プラズマ面取り
• 蒸着

ステンレススチールの利点

スムーズで不浸透性なステンレススチールの表面のおかげで、ごく小さな汚染まで防止する必要のある蒸着、原子蒸着、化学エッチングのような細心の注意の必要なプロセスにステンレススチールの使用が理想的です。ピラニア溶液、RCA洗浄、アセトンのような過酷な化学薬品に耐えることができるだけでなく、ステンレススチールには、ラピッドサーマルプロセス、熱酸化、ファーネスアニールのようなプロセスに共通する極端な温度 への耐性もあります。

弊社の製品には、これまでにご紹介したような多くの利点とカスタマイズオプションがあるため、半導体ウエハ製造の製造に関わっている多くの方が弊社を利用しています。弊社までご連絡いただけましたら、専門家がお手伝いいたします。