Belt Technologies, Inc. は真空蒸着設備の製造に特化する数社のお客様からお問合せを受けました。お客様が開発中の設備は、通常マイクロメーターからナノメーターという薄い機能的な被膜を、ガラス、金属片、ウェハ、ポリマーフィルムに蒸着します。これらの材質は主にソーラーパネル、建築ガラス、スマートフォンディスプレイに使用されます。

マイクロメーターおよびナノメーター蒸着用のコンベヤベルト設計

この用途には、一連のベルト、プーリー、タイミング機器が必要です。ベルトは対で運転され、製品を蒸着プロセス用の高真空チェンバーまで搬送します。

蒸着は素材層を製品に塗布する高精度のプロセスです。これらの塗布は時として非常に薄く、素材を原子1個1個、または分子1個1個蒸着させるためにイオンプロセスが使用されます。このプロセスは極めて敏感な素材や設備に使用されます。蒸着プロセスを成功させるためには、汚染リスクが全くない、高真空環境を必要とします。

間違いの余地なし:衛生的で正確で信頼性の高いステンレス鋼

素材が真空チェンバーに達し、チェンバーが閉じられると、ベルトのトラックが外れたり、素材が搬送中に動いても調整できません。このため、ベルトの運転精度に高い信頼性が要求されます。ベルトは汚染を予防するために、きわめて清潔でなければなりません。ベルトの再調整、メンテナンス、除染などによる生産の遅延は、1時間につき数千ドルの損失を生じます。

テンレススチールは清潔さと精度を必要とする用途に理想的です。ステンレス鋼の金属ベルトは潤滑を必要とせず、アウトガスが発生せず、微粒子を生じません。クリーンルームや高真空環境に最適です製品が安全に搬送され、滑らないことを確認するために、弊社チームはベルト設計にアタッチメントを追加しました。

タイミング要素による正確で反復可能な結果の確保

お客様の設備設計は生産をスムーズに行うためにタイミング要素を必要としました。弊社チームは製品を固定するためのカスタムアタッチメントをコンベヤベルトに装着し、タイミングプーリーを使用して最大限の精度を確保しました。タイミングプーリー、それぞれのタイミング要素の周囲に排気孔を設けた特別な設計で設定されました。これはタイミングボールの裏における空気溜まりの発生を防ぎ、チェンバー内部の真空状態に中断がないようにするためです。

Belt Technologies, Inc.の技術者には、ほとんど全ての用途にカスタムステンレススチールコンベヤベルトソリューションをお届けする豊富な知識と経験があります。お客様のオートメーションコンベヤシステムを改善する金属ベルトのご質問には、本日、弊社にお問合せください。